在 LCD/OLED/MiniLED 面板制造过程中，大尺寸玻璃基板需实现无接触、无应力夹持，同时保证高平坦度、高对位精度与工艺稳定性，并可在真空、等离子体、高温等严苛工况下可靠工作。

     陶瓷基静电卡盘，已广泛应用于薄膜沉积（PVD/CVD）、光刻、刻蚀、清洗及表面处理等关键制程设备中。