精密陶瓷零部件

        用于多种半导体工艺中,针对半导体晶圆制造、核心制程设备、器件封装及后端加工全流程需求,打造高稳定性、耐高温、耐等离子腐蚀、高效散热、高精密的核心零部件解决方案,全面适配成熟制程与先进制程高端半导体设备,兼顾性能与成本优势,助力半导体产业精密化、高效化、长效化发展。

        针对半导体晶圆制造、核心制程设备、器件封装及后端加工全流程需求,我们以高稳定性、耐高温、耐等离子腐蚀、高效散热、高精密的先进陶瓷材料,打造适配成熟与先进制程的高端零部件方案,兼顾性能与成本优势,助力半导体产业向精密化、高效化、长效化升级。

静电卡盘 / 陶瓷加热器

        在陶瓷内部配置金属电极,通过进行一体化烧结,可以制作静电卡盘(Electrostatic Chucks)和陶瓷加热器。

        运用各种材料技术,形成了可以应对客户需求的静电卡盘/陶瓷加热器系列。在等离子环境领域、电子线使用领域等,从开发、试做阶段,即可提供符合用途要求的产品。


        通过陶瓷内部预置金属电极并一体化熔结成型,我们开发出系列化静电卡盘(Electrostatic Chucks)与陶瓷加热器,可稳定适配等离子体环境、电子线应用等严苛工况,从开发、试做阶段即可交付符合客户用途的定制化产品。

产品参数

参数项 参数值
尺寸(L×W) 按图加工
厚度 按需定制
介电常数 场景适配
体密度 3.6 g/cm3
表面粗糙度 按图加工

产品详情

  • 材料:氮化铝
  • 功能:陶瓷绝缘装置
  • 类型:精密结构陶瓷
  • 颜色:灰色
  • 定制能力:全尺寸/精密按图加工
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(此内容由www.hy-good.cn提供)
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